エレクトロニクス産業
I 制御(Control)
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◆ 半導体設備制御盤 ◆
SEMI S22規格に適合する制御盤、試験用キャビネット、真空ポンプ、ウエハの保管や搬送装置用の制御盤などの実績があります。
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◆ 工作機械、冷却システムIOTセットトップボックスの応用 ◆
CNC加工の熱変形に対応し自動でクーラーの温度を調整し変形量を補正。HMIユーザーインターフェースをカスタマイズしてパラメータ設定や各種操作データを表示できます。HMIはIOTに関連するMODBUS、OPC-UAやMQTTなどの通信プロトコルに対応、システムとのデータ連携ができます。 |
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◆ 自動化、監視システム ◆
STK自動倉庫を改良、窒素(N2)パージシステムを導入。N2充填用のFOUPを統合し、FOUP内の環境を安定させてウエハの劣化による歩留低下を防止する。更に、遠隔操作と自動化、監視システムを通じていつでもデータを把握できます。
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